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太阳能多晶硅铸锭用熔融石英坩埚氮化硅涂层的制备

放大字体  缩小字体 发布日期：2012-09-05  浏览次数：27049
核心提示：熔融石英坩埚是生产太阳能多晶硅铸锭的必要容器，为脱模方便，需在其内表面喷涂一层氮化硅. 采用高纯氮化硅粉在国产石英坩埚上喷涂，研究喷涂氮化硅浆液时石英基底温度和涂膜厚度对石英坩埚氮化硅涂层结合强度的影响.
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