“一种用于单晶炉的四通式抽气管道”是集快速清扫、安全释压两种功能为一体的新型抽气管道。设备需要清扫时，可以在不用拆卸单晶炉抽气管道的情况下直接打开盖板，从两个不同方位清扫管道内部粉尘，使清洁效果、效率大幅提升。清扫口盖板靠自身重量与管道口紧密接触，在抽真空状态下保证单晶炉的高真空度，炉压高于设定值时可自行弹起，迅速释放炉内压力，增强单晶炉安全性。
“一种滚珠式自动启闭旋转隔离阀”采用滚珠滑道的斜面设计，通过一个动力源实现阀盖的升降与旋转，既提升了其自动化水平，又提高了效率。
近日，晶龙阳光设备公司开发的“一种用于单晶炉的四通式抽气管道”和“一种滚珠式自动启闭旋转隔离阀”获国家知识产权局颁发的“实用新型专利证书”。
